Mitsubishi Electric MR-J5 User manual

Category
Measuring, testing & control
Type
User manual
MR-J5
User's Manual
(Function)
-MR-J5-_G_
-MR-J5W_-_G_
-MR-J5-_A_
Mitsubishi Electric AC Servo System
1
SAFETY INSTRUCTIONS
Please read the instructions carefully before using the equipment.
To use the equipment correctly, do not attempt to install, operate, maintain, or inspect the equipment until you have read
through this manual, installation guide, and appended documents carefully. Do not use the equipment until you have a full
knowledge of the equipment, safety information and instructions.
In this manual, the safety instruction levels are classified into "WARNING" and "CAUTION".
Note that the CAUTION level may lead to a serious consequence depending on conditions.
Please follow the instructions of both levels because they are important to personnel safety.
Forbidden actions and required actions are indicated by the following diagrammatic symbols.
In this manual, precautions for hazards that can lead to property damage, instructions for other functions, and other
information are shown separately in the "POINT" area.
After reading this manual, keep it accessible to the operator.
WARNING
Indicates that incorrect handling may cause hazardous conditions, resulting in
death or severe injury.
CAUTION
Indicates that incorrect handling may cause hazardous conditions, resulting in
medium or slight injury.
Indicates a forbidden action. For example, "No Fire" is indicated by .
Indicates a required action. For example, grounding is indicated by .
2
[Installation/wiring]
[Setting/adjustment]
[Operation]
[Maintenance]
WARNING
To prevent an electric shock, turn off the power and wait for 15 minutes or more before starting wiring
and/or inspection.
To prevent an electric shock, ground the servo amplifier.
To prevent an electric shock, any person who is involved in wiring should be fully competent to do the
work.
To prevent an electric shock, mount the servo amplifier before wiring.
To prevent an electric shock, connect the protective earth (PE) terminal of the servo amplifier to the
protective earth (PE) of the cabinet, then connect the grounding lead wire to the ground.
To prevent an electric shock, do not touch the conductive parts.
WARNING
To prevent an electric shock, do not operate the switches with wet hands.
WARNING
To prevent an electric shock, do not operate the switches with wet hands.
WARNING
To prevent an electric shock, any person who is involved in inspection should be fully competent to do
the work.
To prevent an electric shock, do not operate the switches with wet hands.
3
ABOUT THE MANUAL
e-Manuals are Mitsubishi Electric FA electronic book manuals that can be browsed with a dedicated tool.
e-Manuals enable the following:
Searching for desired information in multiple manuals at the same time (manual cross searching)
Jumping from a link in a manual to another manual for reference
Browsing for hardware specifications by scrolling over the components shown in product illustrations
Bookmarking frequently referenced information
Copying sample programs to engineering tools
If using the servo for the first time, prepare and use the following related manuals to ensure that the servo is used safely. The
manuals used differ depending on the interface of the servo amplifier. For details, refer to the User's Manual (Introduction).
This manual covers the following servo amplifiers.
MR-J5-_G_/MR-J5W_-_G_/MR-J5-_A_
In this manual, the servo amplifier names are abbreviated as shown below.
Symbol Servo amplifier
[G] MR-J5-_G_/MR-J5W_-_G_
[A] MR-J5-_A_
Rotary Servo Motor
Linear Servo Motor
Direct Drive Motor
This manual is necessary primarily for installing, wiring, and
using options.
The manual is necessary for operation of servo amplifiers.
The manual is necessary for adjustment of operation status.
The manual is necessary for using communication functions.
The manual is necessary for specifying the causes of alarms
and warnings.
Partner Encoder
Function
Adjustment
Object Dictionary
Troubleshooting
Introduction
Hardware
Communication Function
Parameters It describes the parameters of the servo amplifier.
It describes the objects for the servo amplifier.
For the usage of each function, refer to this manual.
4
OBJECT UNITS
This section explains the pos units, vel units, and acc units used in this manual.
The degree unit is available on servo amplifiers with firmware version B6 or later.
The mm unit and inch unit are available on servo amplifiers with firmware version B8 or later in the positioning mode (point
table method).
pos units
The standard unit can be changed using [Pr. PT01.2 Unit for position data] as shown in the following table.
vel units
The speed unit can be changed using [Pr. PT01.1 Speed/acceleration/deceleration unit selection] as shown in the following
table. The command unit can be changed to "0.001 mm", "0.0001 inch", "0.001 degree", or "pulse" using [Pr. PT01.2].
*1 0.01 mm/s is used in the linear servo motor control mode.
acc units
The acceleration unit can be changed using [Pr. PT01.1] as shown in the following table. The command unit can be changed
to "0.001 mm", "0.0001 inch", "0.001 degree", or "pulse" using [Pr. PT01.2].
U.S. CUSTOMARY UNITS
U.S. customary units are not shown in this manual. Convert the values if necessary according to the following table.
Setting value Standard unit
0mm
1inch
2 degree
3 pulse
Setting value Unit
0 0.01 r/min, 0.01 mm/s
*1
1 Command unit/s
Setting value Unit
0ms
1 Command unit/s
2
Quantity SI (metric) unit U.S. customary unit
Mass 1 [kg] 2.2046 [lb]
Length 1 [mm] 0.03937 [inch]
Torque 1 [N•m] 141.6 [oz•inch]
Moment of inertia 1 [(× 10
-4
kg•m
2
)] 5.4675 [oz•inch
2
]
Load (thrust load/axial load) 1 [N] 0.2248 [lbf]
Temperature N [°C] × 9/5 + 32 N [°F]
5
CONTENTS
CONTENTS
SAFETY INSTRUCTIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1
ABOUT THE MANUAL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3
OBJECT UNITS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
U.S. CUSTOMARY UNITS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
CHAPTER 1 FUNCTION 12
1.1 Function explanation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
CHAPTER 2 CONTROL MODE 20
2.1 Control mode [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Control switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Cyclic synchronous position mode (csp) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Cyclic synchronous velocity mode (csv) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Cyclic synchronous torque mode (cst) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Profile position mode (pp) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Profile velocity mode (pv) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Profile torque mode (tq). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Point table mode (pt) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
JOG operation mode (jg). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Continuous operation to torque control mode (ct) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Homing mode (hm) and homing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2 Control mode [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Control switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Position control mode (P) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Speed control mode (S). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
Torque control mode (T) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
Position/speed control switching mode (P/S) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Speed/torque control switching mode (S/T) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
Torque/position control switch mode (T/P) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
CHAPTER 3 BASIC FUNCTION 92
3.1 Outline of servo parameter and object dictionary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Servo parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Object dictionary [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
3.2 Rotation/travel direction selection [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
Setting methods of functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
3.3 Rotation/travel direction selection [A]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
Setting methods of functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
3.4 Stroke limit function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
Explanation of the stroke limit signal names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
Setting methods of functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Stop method at stroke limit detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
Servo parameter list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
3.5 Stroke limit function [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
Setting methods of functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
Stop method at stroke limit detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
Servo parameter list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
3.6 Limit switch release position assessment function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6
Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
Setting methods of functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
3.7 Command unit select function [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
Position command unit selection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
Speed command unit selection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
3.8 Command unit select function [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
Torque command unit selection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
3.9 Electronic gear function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
Setting example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
3.10 Electronic gear function [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Setting example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
Electronic gear selection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
3.11 In-position range setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
3.12 Assigning I/O devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.13 Regenerative option selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
Regenerative option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.14 Alarm function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
Operation status at alarm occurrence [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
Operation status at alarm occurrence [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
Operation status at warning occurrence [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
Operation status at warning occurrence [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
Returning from an alarm [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Returning from an alarm [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Returning from a warning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Alarm history [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Alarm history [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
Stop method at occurrence of alarms/warnings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
Timing chart at alarm occurrence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
3.15 Forced stop deceleration function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141
Timing chart [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141
Timing chart [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.16 Electromagnetic brake interlock function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
Base circuit shut-off delay time function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
Timing chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.17 Vertical axis freefall prevention function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
Timing chart [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
Timing chart [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
3.18 Acceleration/deceleration function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
7
CONTENTS
Acceleration/deceleration time constant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
S-pattern acceleration/deceleration time constant [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157
S-pattern acceleration/deceleration time constant [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 158
Acceleration/deceleration [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.19 Quick stop [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
Objects for setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
Timing chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.20 Halt [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
Objects for setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
Timing chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
3.21 Command pulse train monitoring function [A]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
Setting a command frequency error threshold . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
Setting PEN (Command input permission signal) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
CHAPTER 4 APPLICABLE FUNCTIONS 165
4.1 Tough drive function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
Vibration tough drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
Instantaneous power failure tough drive . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
4.2 Compliance with SEMI-F47 standard. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 171
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 171
Behavior . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 171
Requirements of the SEMI-F47 standard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 172
Calculation method of tolerance against instantaneous power failure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .172
4.3 Scale measurement function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173
Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173
Function block diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
System configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175
Scale measurement encoders. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 177
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
Procedure for replacing the Mitsubishi Electric servo motor equipped with a batteryless absolute position
encoder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
Related objects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
4.4 Touch probe [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
4.5 Machine diagnosis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 196
Friction vibration estimation function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Friction failure prediction function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
Vibration failure prediction function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212
Total travel distance failure prediction function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 218
Gear failure diagnosis function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
Belt diagnosis function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232
4.6 Drive recorder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 251
Specification outline. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 253
How to use the function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 253
How to use the function [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 256
Servo parameter/object dictionary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258
Standard acquisition waveform list [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272
Standard acquisition waveform list [A]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274
Waveform recording inapplicable alarm list. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 276
8
List of auxiliary recording data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 277
4.7 Software reset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
Software reset in MR Configurator2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
Software reset via network communication [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
4.8 Software position limit [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279
4.9 Torque limit [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 282
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 282
Checking "Limiting torque" status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 284
4.10 Torque limit [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 285
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 286
Checking "Limiting torque" status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 287
4.11 Speed limit [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 288
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 288
Checking "Limiting speed" status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 288
4.12 Speed limit [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289
Checking "Limiting speed" status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291
4.13 A/B/Z-phase pulse output function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 292
Setting method [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 292
Setting method [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 295
Z-phase pulse output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 298
4.14 Degree unit [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 299
Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 299
Position-related data when the unit is set to "degree" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 300
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301
Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 302
4.15 Infinite feed function [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306
Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306
When the servo motor rotates 32768 rev or more. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306
When using the infinite feed function with a controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306
4.16 Servo amplifier life diagnosis function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307
Cumulative energization time function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307
Relay usage count display function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 308
4.17 Encoder communication diagnosis function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309
Usage [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309
Usage [A]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 310
Diagnostic procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 310
4.18 Disconnection/incorrect wiring detection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 311
Input open-phase detection function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 311
Output open phase detection function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314
Servo motor incorrect wiring detection function [G]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 316
4.19 Overload protection (electronic thermal) function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 318
4.20 Command offset [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 319
CHAPTER 5 MONITORING 321
5.1 Explanation of monitor signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 321
Name and description of the monitor signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 321
Signal block diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 333
9
CONTENTS
5.2 Checking with MR Configurator2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 336
"Display all" function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 336
Graph function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 336
I/O monitor display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 337
System configuration display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 338
5.3 Analog monitor [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 339
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 339
Setting details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 340
5.4 Analog monitor [A] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 344
Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 344
Setting details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 345
CHAPTER 6 FUNCTIONAL SAFETY 349
6.1 Functions and configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 349
Outline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 349
Outline of safety sub-functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 349
Risk assessments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 350
6.2 Signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 351
Explanation of signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 351
Power-on sequence. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 353
6.3 Setting method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 354
Setting functional safety parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 354
Functional safety parameters that must be set . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 355
Test operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 356
6.4 Safety sub-function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 357
Achievable safety level . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 357
I/O function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 359
STO function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 369
SS1 function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 372
SS2/SOS function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 379
SLS function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 385
SSM function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 389
SBC function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 390
SDI function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 391
SLI function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 394
SLT function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 396
Status monitor (SM) function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 400
Multiple operation commands for safety sub-functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 400
Simultaneous operation of STO and SS1 functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 401
At alarm occurrence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 402
6.5 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 404
Parameter combinations that trigger [AL. 537.2 Parameter combination error A (safety sub-function)] . . . . . . 404
CHAPTER 7 NETWORK FUNCTION 406
7.1 IP address setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 406
Setting an IP address [G] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 406
Setting an IP address [A]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 406
7.2 Managing accounts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 406
Setting an account. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 407
Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 407
10
7.3 FTP server function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 408
Restrictions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 408
Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 408
Directory structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 409
Steps of accessing the FTP server . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 409
7.4 Firmware update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 410
CHAPTER 8 COMMUNICATION FUNCTION (MITSUBISHI ELECTRIC AC SERVO
PROTOCOL) [A] 411
8.1 Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 411
System architecture. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 411
Precautions for using the RS-422/USB communication function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .413
8.2 Communication specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 414
Outline of communication specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 414
Setting servo parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 414
8.3 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 415
Transmission data configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 415
Character codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 417
Error codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 418
Checksum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 418
Time-out processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 419
Retry processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 419
Initialization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 419
Communication procedure example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 420
8.4 Command and data No. list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 421
Reading command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 421
Writing commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 428
8.5 Detailed explanations of commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 430
Data processing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 430
Status display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 432
Servo parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 433
External I/O signal status (DIO diagnosis). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 436
Input device on/off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 438
Disabling/enabling I/O devices (DIO) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 439
Input device on/off (test operation) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 439
Test operation mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 440
Output signal pin on/off (output signal (DO) forced output) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 444
Alarm history . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 445
Current alarm. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 447
Version. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 448
Absolute position monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 449
CHAPTER 9 POSITIONING MODE (POINT TABLE METHOD) (CP) [G] 450
9.1 Operation mode and selection method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 450
Operation mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 450
Operation mode selection method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 450
9.2 Point table mode (pt). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 451
Point table mode (pt) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 451
Point table operation (absolute value command method) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 452
Timing chart of the point table operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 455
11
CONTENTS
Positioning function to the home position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 472
9.3 JOG operation mode (jg) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 473
JOG operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 473
9.4 How to Set Point Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 477
Setting method using MR Configurator2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 477
Setting method using objects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 479
REVISIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .480
WARRANTY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .481
TRADEMARKS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .482
12
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
This section lists the functions mentioned in this manual. For details of the functions, refer to each section indicated in the
detailed explanation column.
For the functions which are not listed here, refer to "FUNCTION" in the User's Manual (Introduction).
Control mode
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
*2 This control mode is not available for multi-axis servo amplifiers.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
CiA 402 control
mode
Cyclic synchronous position mode
(csp)
This function operates the servo motor in the cyclic
synchronous position mode.
A0 Page 22 Cyclic
synchronous position
mode (csp)
Cyclic synchronous velocity mode
(csv)
This function operates the servo motor in the cyclic
synchronous velocity mode.
A0 Page 24 Cyclic
synchronous velocity
mode (csv)
Cyclic synchronous torque mode
(cst)
This function operates the servo motor in the cyclic
synchronous torque mode.
A0 Page 26 Cyclic
synchronous torque mode
(cst)
Profile position mode (pp) This function operates the servo motor in the profile
position mode.
A5 Page 28 Profile
position mode (pp)
Profile velocity mode (pv)
*2
This function operates the servo motor in the profile
velocity mode.
A5 Page 32 Profile
velocity mode (pv)
Profile torque mode (tq)
*2
This function operates the servo motor in the profile
torque mode.
A5 Page 36 Profile torque
mode (tq)
Homing mode (hm)/homing This function either operates the servo motor in the
homing mode or performs homing.
A0 Page 51 Homing
mode (hm) and homing
Point table method Point table mode (pt) This function operates the servo motor according to
the setting values by selecting the point table with
preset 255 points.
B8 Page 39 Point table
mode (pt)
JOG operation mode (jg) This control mode enables desired positioning for
machine adjustment and home positioning.
B8 Page 43 JOG
operation mode (jg)
Thrust/torque
control
Continuous operation to torque
control mode (ct)
This function enables smooth switching to torque
control from the position control mode or speed control
mode without stopping the servo motor. This
eliminates rapid change of speed and torque,
contributing to reduction in load to the machine and
high-quality product molding.
B0 Page 46 Continuous
operation to torque control
mode (ct)
Pulse/analog/DI
command
Position control mode (P) (pulse
train input)
This function operates the servo motor in the position
control mode by the pulse train input.
A0 Page 78 Position
control mode (P)
Speed control mode (S) (Internal
speed command/analog speed
command)
This function operates the servo motor in the speed
control mode by the internal speed command or
analog speed command.
A0 Page 82 Speed
control mode (S)
Torque control mode (T) (Analog
torque command)
This function operates the servo motor in the torque
control mode by the analog torque command.
A0 Page 84 Torque
control mode (T)
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
13
1
Network
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The function is available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Position detection
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The function is available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Remote
maintenance
Firmware update This function updates the firmware of the servo
amplifier.
A0 A0 Page 410 Firmware
update
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Control method Scale measurement function This function connects the scale measurement
encoder in the state of the semi closed loop control to
transmit the position information of the scale
measurement encoder to the controller.
A5 Page 173 Scale
measurement function [G]
14
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
Operation function
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Stop function Quick Stop This function stops the servo motor with a specified
method and switches to the servo-off status.
A0 Page 161 Quick stop
[G]
Halt This function stops the servo motor while the servo-on
status is maintained.
A0 Page 163 Halt [G]
Stroke limit function This function uses LSP (Forward rotation stroke end)
and LSN (Reverse rotation stroke end) to limit the
travel interval of the servo motor.
A0 A0 Page 101 Stroke limit
function [G]
Page 107 Stroke limit
function [A]
This function limits the travel interval of the servo
motor using FLS (Upper stroke limit) and RLS (Lower
stroke limit) via a controller.
A0 Page 101 Stroke limit
function [G]
Software position limit This function uses servo parameters to limit the travel
intervals by address. A function equivalent to the
stroke limit function can be set with the servo
parameter.
A0 Page 279 Software
position limit [G]
Command
generation
Command pulse selection The command pulse train form can be selected from
among three different types.
A0 Page 78 Position
control mode (P)
Rotation/travel direction selection This function sets the rotation direction of the servo
motor without changing the command polarity.
A0 A0 Page 95 Rotation/
travel direction selection
[G]
Page 99 Rotation/
travel direction selection
[A]
Electronic gear This function performs positioning control with the
value obtained by multiplying the position command
from the upper controller by a set electronic gear ratio.
A0 A0 Page 115 Electronic
gear function [G]
Page 123 Electronic
gear function [A]
Acceleration/deceleration function This function enables smooth acceleration/
deceleration.
A0 A0 Page 155
Acceleration/deceleration
function
S-pattern acceleration/deceleration
time constant
This function performs smooth acceleration and
deceleration.
A5 A0 Page 157 S-pattern
acceleration/deceleration
time constant [G]
Page 158 S-pattern
acceleration/deceleration
time constant [A]
Torque limit This function limits the servo motor torque. A0 A0 Page 282 Torque limit
[G]
Page 285 Torque limit
[A]
Speed limit This function limits the servo motor speed in the
torque control mode.
A0 A0 Page 288 Speed limit
[G]
Page 289 Speed limit
[A]
Command offset This function compensates the position/speed/torque
commands by adding a desired amount of offset to the
commands.
A5 Page 319 Command
offset [G]
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
15
1
I/O, monitor
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Option
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The function is available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
DI/DO Input signal selection (device
selection)
This function assigns input devices such as LSP
(Forward rotation stroke end) to certain pins of the
connector.
A0 A0 Page 129 Assigning I/
O devices
Output signal selection (device
setting)
This function assigns output devices such as MBR
(Electromagnetic brake interlock) to certain pins of the
connector.
A0 A0 Page 129 Assigning I/
O devices
A/B/Z-phase output This function outputs the positions of the encoder and
linear encoder in the A/B/Z-phase signal.
A0 A0 Page 292 A/B/Z-
phase pulse output
function
Analog input/output Analog monitor This function outputs the servo status in voltage in real
time.
A0 A0 Page 321
MONITORING
Monitor Power monitoring function This function calculates the running power and the
regenerative power from the data in the servo amplifier
such as speed and current. The power consumption
and other values are displayed on MR Configurator2.
A0 A0
Touch probe Current position latch function This function latches the current position when TPR1
(Touch probe 1), TPR2 (Touch probe 2), or TPR3
(Touch probe 3) is turned on.
A5 Page 184 Touch
probe [G]
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Regenerative
capacity
enhancement
Regenerative option Use this function if the built-in regenerative resistor of
the servo amplifier does not have sufficient
regenerative capacity for the generated regenerative
power.
A0 A0 Page 132
Regenerative option
selection
16
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
Protective functions
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Alarm Alarm function This function displays an alarm or warning when an
error occurs during operation. When an alarm occurs,
ALM (Malfunction) turns off and stops the servo motor.
When a warning occurs, WNG (Warning) will turn on.
The servo motor may stop or continue operation
depending on the warning.
A0 A0 Page 133 Alarm
function
Alarm history clear This function clears alarm histories. A0 A0 Page 135 Alarm
history [G]
Page 137 Alarm
history [A]
Power error
detection
Disconnection detection function This function detects a disconnection in the main
circuit power supply input and the servo motor power
supply output.
A0 A0 Page 311
Disconnection/incorrect
wiring detection function
Coasting distance
reduction
Forced stop deceleration function This function decelerates the servo motor to a stop at
EM2 (Forced stop 2) off or when there is an alarm.
A0 A0 Page 140 Forced stop
deceleration function
Drop protection Electromagnetic brake interlock
function
This function operates the electromagnetic brake at
servo off and error occurrence, and prevents the
vertical axis from dropping.
A0 A0 Page 143
Electromagnetic brake
interlock function
Vertical axis freefall prevention
function
This function moves the axis up by the mechanical
backlash amount of the electromagnetic brake to
prevent damage to machines.
A0 A0 Page 153 Vertical axis
freefall prevention function
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
17
1
Functional safety
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Safety sub-function STO (Safe torque off) This function electrically shuts off the servo motor
driving energy with input signals from external devices
(shut-off by the secondary-side output). This is
equivalent to the stop category 0 of IEC/EN 60204-1.
B2 Page 369 STO
function
SS1 (Safe stop 1) This function starts deceleration with input signals
from external devices. After the specified time to
confirm the motor stop, the STO function is executed
(SS1). This is equivalent to the stop category 1 of IEC/
EN 60204-1.
B2 Page 372 SS1
function
SS2 (Safe stop 2) This function starts deceleration with input signals
from external devices. After the specified time to
confirm the motor stop, the SOS function is executed
(SS2). This is equivalent to the stop category 2 of IEC/
EN 60204-1.
B2 Page 379 SS2/SOS
function
SOS (Safe operating stop) This function monitors whether the servo motor stops
within the prescribed range. Energy is supplied to the
servo motor.
B2
SLS (Safely-limited speed) This function monitors whether the speed is within the
prescribed speed limit. If the speed exceeds the
specified speed limit, the STO will shut off energy.
B2 Page 385 SLS
function
SSM (Safe speed monitor) This function outputs signals when the servo motor
speed is below the prescribed speed.
B2 Page 389 SSM
function
SBC (Safe brake control) This function outputs signals for controlling the
external brake.
B2 Page 390 SBC
function
SDI (Safe direction) This function monitors whether the servo motor travels
in the specified direction. If the servo motor travels in a
direction different from the specified direction, the STO
will shut off energy.
B2 Page 391 SDI
function
SLI (Safely-limited increment) This function monitors whether the travel distance of
the servo motor is within the specified range. If the
travel distance of the servo motor exceeds the
specified range, the STO will shut off energy.
B2 Page 394 SLI function
SLT (Safely-limited torque) This function monitors whether the torque is below the
specified torque. If the torque exceeds the specified
torque, the STO will shut off energy.
B2 Page 396 SLT
function
Status monitor (SM: Status monitor) This function outputs the statuses of the safety sub-
functions as signals. This is a function designed
specifically for the safety sub-functions and differs
from the function defined in IEC/EN 61800-5-2.
B2 Page 400 Status
monitor (SM) function
18
1 FUNCTION
1.1 Function explanation
Instantaneous power failure measures
*1 "Ver." indicates the supported firmware version of the servo amplifier. The functions are available on servo amplifiers with the indicated
firmware version or later.
Functions Detailed functions Description Ver.
*1
MR-J5
Detailed explanation
G A
Tough drive SEMI-F47 function This function uses the electrical energy charged in the
capacitor to avoid triggering [AL. 010 Undervoltage] in
case that an instantaneous power failure occurs
during operation. Use a 3-phase power supply for the
input power supply of the servo amplifier. Using a 1-
phase 200 V AC for the input power supply will not
comply with SEMI-F47 standard.
A0 A0 Page 171 Compliance
with SEMI-F47 standard
Tough drive function This function makes the equipment continue operating
even under conditions where an alarm would normally
occur. There are two types of tough drive function: the
vibration tough drive and the instantaneous power
failure tough drive.
A0 A0 Page 167 Tough drive
function
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44
  • Page 45 45
  • Page 46 46
  • Page 47 47
  • Page 48 48
  • Page 49 49
  • Page 50 50
  • Page 51 51
  • Page 52 52
  • Page 53 53
  • Page 54 54
  • Page 55 55
  • Page 56 56
  • Page 57 57
  • Page 58 58
  • Page 59 59
  • Page 60 60
  • Page 61 61
  • Page 62 62
  • Page 63 63
  • Page 64 64
  • Page 65 65
  • Page 66 66
  • Page 67 67
  • Page 68 68
  • Page 69 69
  • Page 70 70
  • Page 71 71
  • Page 72 72
  • Page 73 73
  • Page 74 74
  • Page 75 75
  • Page 76 76
  • Page 77 77
  • Page 78 78
  • Page 79 79
  • Page 80 80
  • Page 81 81
  • Page 82 82
  • Page 83 83
  • Page 84 84
  • Page 85 85
  • Page 86 86
  • Page 87 87
  • Page 88 88
  • Page 89 89
  • Page 90 90
  • Page 91 91
  • Page 92 92
  • Page 93 93
  • Page 94 94
  • Page 95 95
  • Page 96 96
  • Page 97 97
  • Page 98 98
  • Page 99 99
  • Page 100 100
  • Page 101 101
  • Page 102 102
  • Page 103 103
  • Page 104 104
  • Page 105 105
  • Page 106 106
  • Page 107 107
  • Page 108 108
  • Page 109 109
  • Page 110 110
  • Page 111 111
  • Page 112 112
  • Page 113 113
  • Page 114 114
  • Page 115 115
  • Page 116 116
  • Page 117 117
  • Page 118 118
  • Page 119 119
  • Page 120 120
  • Page 121 121
  • Page 122 122
  • Page 123 123
  • Page 124 124
  • Page 125 125
  • Page 126 126
  • Page 127 127
  • Page 128 128
  • Page 129 129
  • Page 130 130
  • Page 131 131
  • Page 132 132
  • Page 133 133
  • Page 134 134
  • Page 135 135
  • Page 136 136
  • Page 137 137
  • Page 138 138
  • Page 139 139
  • Page 140 140
  • Page 141 141
  • Page 142 142
  • Page 143 143
  • Page 144 144
  • Page 145 145
  • Page 146 146
  • Page 147 147
  • Page 148 148
  • Page 149 149
  • Page 150 150
  • Page 151 151
  • Page 152 152
  • Page 153 153
  • Page 154 154
  • Page 155 155
  • Page 156 156
  • Page 157 157
  • Page 158 158
  • Page 159 159
  • Page 160 160
  • Page 161 161
  • Page 162 162
  • Page 163 163
  • Page 164 164
  • Page 165 165
  • Page 166 166
  • Page 167 167
  • Page 168 168
  • Page 169 169
  • Page 170 170
  • Page 171 171
  • Page 172 172
  • Page 173 173
  • Page 174 174
  • Page 175 175
  • Page 176 176
  • Page 177 177
  • Page 178 178
  • Page 179 179
  • Page 180 180
  • Page 181 181
  • Page 182 182
  • Page 183 183
  • Page 184 184
  • Page 185 185
  • Page 186 186
  • Page 187 187
  • Page 188 188
  • Page 189 189
  • Page 190 190
  • Page 191 191
  • Page 192 192
  • Page 193 193
  • Page 194 194
  • Page 195 195
  • Page 196 196
  • Page 197 197
  • Page 198 198
  • Page 199 199
  • Page 200 200
  • Page 201 201
  • Page 202 202
  • Page 203 203
  • Page 204 204
  • Page 205 205
  • Page 206 206
  • Page 207 207
  • Page 208 208
  • Page 209 209
  • Page 210 210
  • Page 211 211
  • Page 212 212
  • Page 213 213
  • Page 214 214
  • Page 215 215
  • Page 216 216
  • Page 217 217
  • Page 218 218
  • Page 219 219
  • Page 220 220
  • Page 221 221
  • Page 222 222
  • Page 223 223
  • Page 224 224
  • Page 225 225
  • Page 226 226
  • Page 227 227
  • Page 228 228
  • Page 229 229
  • Page 230 230
  • Page 231 231
  • Page 232 232
  • Page 233 233
  • Page 234 234
  • Page 235 235
  • Page 236 236
  • Page 237 237
  • Page 238 238
  • Page 239 239
  • Page 240 240
  • Page 241 241
  • Page 242 242
  • Page 243 243
  • Page 244 244
  • Page 245 245
  • Page 246 246
  • Page 247 247
  • Page 248 248
  • Page 249 249
  • Page 250 250
  • Page 251 251
  • Page 252 252
  • Page 253 253
  • Page 254 254
  • Page 255 255
  • Page 256 256
  • Page 257 257
  • Page 258 258
  • Page 259 259
  • Page 260 260
  • Page 261 261
  • Page 262 262
  • Page 263 263
  • Page 264 264
  • Page 265 265
  • Page 266 266
  • Page 267 267
  • Page 268 268
  • Page 269 269
  • Page 270 270
  • Page 271 271
  • Page 272 272
  • Page 273 273
  • Page 274 274
  • Page 275 275
  • Page 276 276
  • Page 277 277
  • Page 278 278
  • Page 279 279
  • Page 280 280
  • Page 281 281
  • Page 282 282
  • Page 283 283
  • Page 284 284
  • Page 285 285
  • Page 286 286
  • Page 287 287
  • Page 288 288
  • Page 289 289
  • Page 290 290
  • Page 291 291
  • Page 292 292
  • Page 293 293
  • Page 294 294
  • Page 295 295
  • Page 296 296
  • Page 297 297
  • Page 298 298
  • Page 299 299
  • Page 300 300
  • Page 301 301
  • Page 302 302
  • Page 303 303
  • Page 304 304
  • Page 305 305
  • Page 306 306
  • Page 307 307
  • Page 308 308
  • Page 309 309
  • Page 310 310
  • Page 311 311
  • Page 312 312
  • Page 313 313
  • Page 314 314
  • Page 315 315
  • Page 316 316
  • Page 317 317
  • Page 318 318
  • Page 319 319
  • Page 320 320
  • Page 321 321
  • Page 322 322
  • Page 323 323
  • Page 324 324
  • Page 325 325
  • Page 326 326
  • Page 327 327
  • Page 328 328
  • Page 329 329
  • Page 330 330
  • Page 331 331
  • Page 332 332
  • Page 333 333
  • Page 334 334
  • Page 335 335
  • Page 336 336
  • Page 337 337
  • Page 338 338
  • Page 339 339
  • Page 340 340
  • Page 341 341
  • Page 342 342
  • Page 343 343
  • Page 344 344
  • Page 345 345
  • Page 346 346
  • Page 347 347
  • Page 348 348
  • Page 349 349
  • Page 350 350
  • Page 351 351
  • Page 352 352
  • Page 353 353
  • Page 354 354
  • Page 355 355
  • Page 356 356
  • Page 357 357
  • Page 358 358
  • Page 359 359
  • Page 360 360
  • Page 361 361
  • Page 362 362
  • Page 363 363
  • Page 364 364
  • Page 365 365
  • Page 366 366
  • Page 367 367
  • Page 368 368
  • Page 369 369
  • Page 370 370
  • Page 371 371
  • Page 372 372
  • Page 373 373
  • Page 374 374
  • Page 375 375
  • Page 376 376
  • Page 377 377
  • Page 378 378
  • Page 379 379
  • Page 380 380
  • Page 381 381
  • Page 382 382
  • Page 383 383
  • Page 384 384
  • Page 385 385
  • Page 386 386
  • Page 387 387
  • Page 388 388
  • Page 389 389
  • Page 390 390
  • Page 391 391
  • Page 392 392
  • Page 393 393
  • Page 394 394
  • Page 395 395
  • Page 396 396
  • Page 397 397
  • Page 398 398
  • Page 399 399
  • Page 400 400
  • Page 401 401
  • Page 402 402
  • Page 403 403
  • Page 404 404
  • Page 405 405
  • Page 406 406
  • Page 407 407
  • Page 408 408
  • Page 409 409
  • Page 410 410
  • Page 411 411
  • Page 412 412
  • Page 413 413
  • Page 414 414
  • Page 415 415
  • Page 416 416
  • Page 417 417
  • Page 418 418
  • Page 419 419
  • Page 420 420
  • Page 421 421
  • Page 422 422
  • Page 423 423
  • Page 424 424
  • Page 425 425
  • Page 426 426
  • Page 427 427
  • Page 428 428
  • Page 429 429
  • Page 430 430
  • Page 431 431
  • Page 432 432
  • Page 433 433
  • Page 434 434
  • Page 435 435
  • Page 436 436
  • Page 437 437
  • Page 438 438
  • Page 439 439
  • Page 440 440
  • Page 441 441
  • Page 442 442
  • Page 443 443
  • Page 444 444
  • Page 445 445
  • Page 446 446
  • Page 447 447
  • Page 448 448
  • Page 449 449
  • Page 450 450
  • Page 451 451
  • Page 452 452
  • Page 453 453
  • Page 454 454
  • Page 455 455
  • Page 456 456
  • Page 457 457
  • Page 458 458
  • Page 459 459
  • Page 460 460
  • Page 461 461
  • Page 462 462
  • Page 463 463
  • Page 464 464
  • Page 465 465
  • Page 466 466
  • Page 467 467
  • Page 468 468
  • Page 469 469
  • Page 470 470
  • Page 471 471
  • Page 472 472
  • Page 473 473
  • Page 474 474
  • Page 475 475
  • Page 476 476
  • Page 477 477
  • Page 478 478
  • Page 479 479
  • Page 480 480
  • Page 481 481
  • Page 482 482
  • Page 483 483
  • Page 484 484
  • Page 485 485
  • Page 486 486

Mitsubishi Electric MR-J5 User manual

Category
Measuring, testing & control
Type
User manual

Ask a question and I''ll find the answer in the document

Finding information in a document is now easier with AI